集成电路先进制造工艺技术-初级课程

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授課老師
闫江
博士,教授,国家特聘专家,北方工业大学高精尖研究院院长。
张静
北方工业大学微电子专业,教授,北方工业大学教学名师。
赵劼
微电子研究所先导中心高级工程师。
贺晓彬
硕士,微电子所高级工程师
周娜
博士,中科院微电子所先导工艺研发中心,高级工程师。
白国斌
微电子所高级工程师。
高建峰
硕士,中科院微电子所先导工艺研发中心,高级工程师。
刘金彪
硕士,中科院微电子所先导工艺研发中心,高级工程师。
熊文娟
硕士,中科院微电子所先导工艺研发中心,高级工程师
封国强
副研究员,北京艾西智酷科技有限公司副总经理。
王晓磊
博士中科院微电子所研究员。
王琪
硕士,清华经管学院MBA,现任中科院微电子所高级工程师,曾担任中芯国际研发中心副总监。
曲扬
现任中国科学院微电子研究所高级工程师,曾任华润微电子集团资深设备主管。
李亭亭
硕士,中科院微电子研究所先导工艺研发中心 高级工程师。
张鹏
中科院微电子所先导工艺研发中心,高级工程师。
胡艳鹏
中国科学院微电子研究所先导中心,工程师。
张月
中科院微电子所集成电路先导工艺研发中心,工程师。
課程大綱
集成电路先进制造工艺工程师-初级课程
试看-集成电路制造技术综述
00:03:20
試看
第一讲-集成电路制造技术综述-闫江
01:29:39
第二讲-PDK建模与版图设计-赵劼
01:32:40
第三讲-半导体物理初步-张静
01:29:06
第四讲-光刻工艺-贺晓彬
01:22:35
第五讲-刻蚀工艺-周娜
01:19:01
第六讲-CVD工艺-白国斌
01:24:29
第七讲-离子注入工艺技术-刘金彪
01:27:49
第八讲-薄膜沉积PVD工艺-高建峰
01:32:17
第九讲-扩散工艺-熊文娟
00:44:05
第十讲-净化间6S管理和安全规则-曲扬
00:37:37
第十一讲-在线监测技术-李亭亭
00:40:56
第十二讲-电学量测技术-张鹏
00:43:24
第十三讲-清洗设备及工艺-胡艳鹏
00:55:44
第十四讲-CMP设备及工艺-张月
00:43:09
第十五讲-物理化学表征-王晓磊
01:26:49
第十六讲-CMOS工艺集成-王琪
01:32:30
实训指导-封国强
00:27:01
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