集成电路先进制造工艺工程师-高级课程

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授課老師
闫江
博士,教授,国家特聘专家,北方工业大学高精尖研究院院长。
李俊杰
李俊杰,博士,中科院微电子所先导工艺研发中心,高级工程师。有14年等离子刻蚀研发经验。曾就职于北方华创,有丰富的12英寸等离子刻蚀工艺研发经验。
王桂磊
博士,研究员,北京超弦存储器研究院材料与装备首席专家。长期从事集成电路先进薄膜材料生长和工艺研发、包括5nm技术代以下先进CMOS器件外延技术研发和DRAM新材料工艺研究。
项金娟
博士,副研究员,先后工作于中科院微电子研究所与北京超弦存储器研究院,主要从事集成电路先导工艺中的单原子层沉积(ALD)相关工艺研究。
唐波
中国科学院微电子研究所高级工程师,中国科学院关键技术人才,主要从事硅基光子和先进CMOS制程研究。发表论文40余篇,申请专利80余项。
李春龙
博士,正高级工程师,博导。长期从事集成电路先导工艺研发和8/12英寸Fab生产运营管理工作。曾就职于中芯国际、武汉新芯和长江存储。
洪培真
中科院微电子所副研究员,中科院青促会会员。参与国家 02 专项 22 纳米工艺整合集成技术,国家存储器基地三维存储器芯片集成工艺研究及其产业化等项目。
卢萍
博士,Eurofins EAG Advanced Imaging & FA 部门负责人, 10年以上透射电子显微学表征技术研究经历,探索AC-STEM、EELS、NBD等TEM相关技术在半导体领域的深
課程大綱
集成电路先进制造技术工艺高级课程
试看-摩尔定律的发展与未来
00:06:46
試看
第一讲-ALD设备及工艺-项金娟
01:36:23
第二讲-ALE设备与工艺-李俊杰
01:27:06
第三讲-先进外延工艺及装备(上)-王桂磊
01:27:40
第三讲-先进外延工艺及装备(下)-王桂磊
01:21:07
第四讲-MOSFET工艺与器件介绍(上)-唐波
01:35:33
第四讲-MOSFET工艺与器件介绍(下)-唐波
01:40:30
第五讲-硅基光子-唐波
01:34:10
第六讲-3D NAND闪存工艺与原理-洪培真
01:24:48
第七讲-集成电路失效分析-卢萍
01:19:37
第八讲-集成电路制造质量控制-李春龙
01:13:18
第九讲-集成电路制造过程控制-李春龙
01:20:47
第十讲-摩尔定律的发展与未来-闫江
01:31:54
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